近日
廈門(mén)火炬高新區(qū)企業(yè)瀚天天成
依托研發(fā)團(tuán)隊(duì)的自主技術(shù)攻堅(jiān)
成功開(kāi)發(fā)出
全球首款
12英寸高質(zhì)量碳化硅外延晶片

這一突破
不僅能顯著提高
下游功率器件的生產(chǎn)效率
更將大幅降
低碳化硅芯片的單位制造成本
為碳化硅產(chǎn)業(yè)規(guī)模化、低成本應(yīng)用
奠定關(guān)鍵基礎(chǔ)
第三代半導(dǎo)體碳化硅比第一代硅半導(dǎo)體擁有更優(yōu)的高頻、高壓、高溫能力,能夠?qū)崿F(xiàn)系統(tǒng)更低的能耗、更小的體積和重量,被廣泛應(yīng)用于新能源汽車(chē)、光伏發(fā)電、AI電源、軌道交通、智能電網(wǎng)及航空航天等領(lǐng)域。
相較于當(dāng)前主流的150mm(6英寸)碳化硅外延晶片,以及尚處產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)階段的200mm(8英寸)晶片,300mm(12英寸)晶片憑借直徑的顯著擴(kuò)容,在相同生產(chǎn)工序下,單片可承載的芯片(器件)數(shù)量實(shí)現(xiàn)大幅提升——較6英寸晶片提升至4.4倍,較8英寸晶片提升至2.3倍。
目前,瀚天天成已啟動(dòng)12英寸碳化硅外延晶片的批量供應(yīng)籌備工作,產(chǎn)品在關(guān)鍵性能指標(biāo)上表現(xiàn)優(yōu)異:外延層厚度不均勻性控制在3%以內(nèi),摻雜濃度不均勻性≤8%,2mm×2mm芯片良率大于96%,可充分滿足下游功率器件領(lǐng)域的高可靠性應(yīng)用需求。
據(jù)悉,瀚天天成是中國(guó)首家實(shí)現(xiàn)商業(yè)化3英寸、4英寸、6英寸碳化硅外延晶片批量供應(yīng)的生產(chǎn)商。根據(jù)灼識(shí)咨詢研報(bào),公司2023年已成為全球最大規(guī)模的碳化硅外延晶片供應(yīng)商,2024年全球市場(chǎng)份額超31%。
(圖片來(lái)源:福建日?qǐng)?bào))
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