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近日
從廈門(mén)火炬高新區(qū)企業(yè)
普為光電獲悉
該公司在
半導(dǎo)體專用黃光燈的研發(fā)難點(diǎn)上
取得技術(shù)突破
其520納米芯片級(jí)車間應(yīng)用產(chǎn)品
在關(guān)鍵指標(biāo)上達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平
黃光燈是半導(dǎo)體車間
不可或缺的照明設(shè)備
長(zhǎng)期以來(lái)
高端黃光燈主要依賴進(jìn)口
普為光電介紹，此次攻克的核心難題在于，實(shí)現(xiàn)對(duì)520納米以下波長(zhǎng)光線的精準(zhǔn)、永久過(guò)濾，并在燈具整個(gè)生命周期內(nèi)實(shí)現(xiàn)“零溢出”（即無(wú)紫外線溢出），為光刻、顯影等敏感工藝提供安全、穩(wěn)定的光環(huán)境。
作為國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”企業(yè)、LED管型燈領(lǐng)域頭部企業(yè)，普為光電的黃光燈技術(shù)已成熟應(yīng)用十多年，憑借“無(wú)光譜漂移、無(wú)波長(zhǎng)泄漏”的穩(wěn)定運(yùn)行紀(jì)錄，服務(wù)半導(dǎo)體頭部廠商。
此次技術(shù)突破不僅為全球晶圓廠提供了新選擇，也為我國(guó)構(gòu)建安全、可控的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈注入新動(dòng)能。
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